1、設備接地必須可靠，并經常檢查接地裝置導電作用。
2、擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水，泵停止工作，但泵內示冷卻至80攝氏度以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。
3、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化。
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2、擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水，泵停止工作，但泵內示冷卻至80攝氏度以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。
3、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化。