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PVD真空離子鍍膜設備涂層加工常用靶材

作者: 來源: 日期:2021-11-20 13:32:28 人氣:2501
彩色系膜層和常規色膜層區別就是C值和H值,所以可以說,黑色也是彩色系膜層。

鋯+氮氣:黃綠調金黃色
鋯+甲烷:深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮氣+甲烷:金色、仿玫瑰金

鉻+甲烷:深淺黑色
鉻+氮氣:淺黑色
鉻+氮氣+甲烷:銀灰色
鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色

SUS+氧氣:紫色
SUS+氮氣:藍色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮氣:藍黑色

硅+氮氣:黑色
硅+氧氣:混濁白、透明膜
硅+甲烷:黃色、綠色、藍色、黑色(靶材純度高于99%僅能調黑色)

鈦+氧氣:光學膜七彩截色,不多介紹都懂。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達標)
鈦+氮氣:仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦+氮氣+甲烷:仿玫瑰金、黑綠色、復古黃、棕色、紫色

鎢+氮氣:棕黃色
鎢+甲烷:深淺黑色
鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍色

以上僅裝飾薄膜常用材料及其常用氣體,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色甲烷效果更好。
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